一.变容真空泵
它是利用泵腔容量的时间改变来实现呼吸和排气管以做到抽真空目地的真空泵。高温蒸汽电磁阀汽体在排出来泵腔前被缩小。这类泵分成往复及转盘式二种。
1.往复真空泵
利用泵腔内活塞杆反复运动,将汽体吸进.缩小并排出来。三位五通电磁阀又称作活塞机真空泵。
2.转盘式真空泵
利用泵腔内电机转子组件的转动运作将汽体吸进.缩小并排出来。它大概有以下几类归类:
1)骨架密封式真空泵它是利用真空泵油密封性泵内各活动构件中间的空隙,二位五通电磁阀降低泵内有危害室内空间的一种转动变容真空泵。这类泵一般具有气镇设备。它具体包含旋内置式真空泵.定内置式真空泵.旋片泵式真空泵.余旋轮线真空泵等。
2)液环真空泵将含有多叶片的电机转子轴力装在泵壳内。当它转动时,把工作中液态抛到泵壳产生与泵壳同舟的液环,液环同电机转子叶片产生了容量周期时间变动的一些小的转动变容吸排气管腔。工作中液态一般 为水或油,因此 亦称之为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干试真空泵它是一种泵内无需原料油(或液态)密封性的变容真空泵。因为干试真空泵泵腔内不用工作中液态,因而,适用半导体业.化工.制药业工业生产及食品企业等必须隔膜真空泵清理真空的加工工艺场所。